真空滲碳設(shè)備及工藝雖然出現(xiàn)的時間不長，但由于存在一系列顯著的優(yōu)點及特點，因此，在生產(chǎn)中的應(yīng)用范圍在迅速擴大。

(1) 控制滲碳層的深度、碳濃度以及濃度梯度(硬度梯度)是很容易的。 

　　無錫熱處理廠認為由于真空滲碳過程的物理化學(xué)反應(yīng)特點，因而，根據(jù)零件的技術(shù)條件可簡單地通過計算或一些關(guān)系曲線確定真空滲碳熱處理的工藝參數(shù)。生產(chǎn)實踐表明，特別對批量生產(chǎn)需以工藝實驗來驗證和修正計算得來的工藝參數(shù)，這一點對要求高的精密重要零件的批量生產(chǎn)是很重要的。生產(chǎn)實踐還表明，只要按照通過工藝實驗確定的工藝參數(shù)進行操作，即可獲得各爐很一致的滲碳結(jié)果——重現(xiàn)性好。

(2)滲碳件表面質(zhì)量高。 

　　無錫熱處理廠認為由于真空滲碳熱處理是在真空狀態(tài)下進行加熱、均熱以及滲碳后的擴散，因而零件不產(chǎn)生脫碳和黑色組織等問題，表面也潔凈。這樣，就可省去后清理工序并有利于熱處理后的精加工工序的進行。

(3)真空滲碳零件具有較高的力學(xué)性能。 

　　無錫熱處理廠認為由于真空滲碳熱處理零件具有表面質(zhì)量高(不脫碳，不氧化)的特點，因而，對表面層的應(yīng)力狀態(tài)及疲勞強度具有很有利的影響。

(4)對具有盲孔、深孔及窄縫的零件具有較好的滲碳效果。對難于用氣體滲碳熱處理法進行滲碳的不銹鋼、含硅鋼等，用真空滲碳法則可順利地進行滲碳。

(5)可獲得薄的、厚的(可達7mm)以及高碳濃度的滲碳層。使?jié)B碳期與擴散期時間具有不同的配合，即可獲得陡的或平緩的碳濃度梯度。

(6)可進行高溫滲碳熱處理從而縮短了滲碳時間。 

　　無錫熱處理廠認為真空滲碳是在探求高溫滲碳的可能性的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的。高溫滲碳在真空狀態(tài)下之所以可能，是由于現(xiàn)代真空滲碳爐的結(jié)構(gòu)和構(gòu)件材質(zhì)已能適應(yīng)高溫滲碳的要求。

　　高溫滲碳熱處理可以顯著地縮短滲碳時間。這是因為在高的滲碳溫度下，奧氏體對碳具有更高的溶解度，而使用的滲碳氣又能充分供給活性碳原子。還因為高溫滲碳可顯著提高碳在鋼中的擴散速度。再有，零件是在真空狀態(tài)下進行加熱升溫的，產(chǎn)生了脫氣、去除氧化物等效果，從而使零件表面活化，使碳原子的吸收過程加速。

　　在普通氣體滲碳條件下，滲碳爐不能長時間地承受高溫。因此，多年來以氣體滲碳爐進行的高溫滲碳試驗未獲成功。